Mist-CVD系统 OTF-1200X-MCVD-φ50

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·雾化装置：配有1.7MHz超声雾化仪，可将液体雾化成液体颗粒，导入到管式炉中。
·加热部分（管式炉）：管式炉最高温度可以达到1200℃。

·真空系统：GZK-101真空系统，极限真空度为10^-3torr

·电压：单相, 220V AC,50/60 Hz

· 最大功率：3KW

工作温度

· 连续工作温度：1100℃

·最高工作温度：1200℃（＜1h）

·推荐升温速率≤ 10℃/min

·加热元件：掺钼铁铬铝合金，表面涂有氧化锆涂层

· 加热区长度：400mm

控温系统

·可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护

·控温精度为：+/- 1ºC

炉管

·采用高纯石英管

· 石英管尺寸：Φ50*1000mm

密封法兰

·左端配置有一个KF系列快接法兰，与雾化装置相连接（图一），并通过三通连接有一个机械真空压力表。

·左端进气口法兰通过一个直径φ25mm的石英管通入加热炉内部；

·右端配置有一个KF系列的快接法兰，与真空系统相连

·石英管内配置有一个斜的石英舟，用于放置客户的基片样品（图二）

共配置有1个雾化装置

  雾化装置参数：

·220VAC ，1.7MHz超声雾化仪

·液体罐标配为316不锈钢材质（PTFE及其它材质的罐子可以与销售联系进行定制），并采用氟胶密封圈密封；

·可设置1-5档雾化量，通过调节档位大小，控制雾化量的多少；

·可实现连续运行雾化和定时运行雾化两种功能。定时时间从30分钟到180分钟可调

·气路示意图如下：

·两路气体通过四个流量计，流量计1、3混合后的气体通入雾化装置作为雾化载气；流量计2、4混合后的气体作为稀释气体通过一个三通直接通入炉管。

  供气系统参数：

·流量计量程：500sccm

·工作电压：AC  220V/50HZ

·工作温度：5-45℃

·工作压强：3×106Pa

·最大输出功率：23W

·精度：±1.5%FS

·线性：±(0.5～1.5)%F.S.

·重复精度：±0.2%F.S.

·响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

·工作压差范围：0.1～0.5 MPa

·型号：GZK-101

·抽气速率：3L/S
·极限真空:10^-1Pa

·双层立式油雾过滤器（PE材质）与真空泵连接

·电阻真空计型号：DGR-52

涡旋式真空泵（选配）

一种干式真空泵，该结构的真空泵可实现真正的无油，同时基本无油涡旋压缩技术结构，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，

在无油环境下工作，对被抽容器无污染，可抽除可凝性气体

· 电压：AC 100-240V

· 功率：400W

· 抽气速率：3L/s

· 极限真空度：0.8 Pa（不带负载）

· 转速：1800rpm

· 泄漏率：＜1*10^-7Pa*m³/s

· 外形尺寸：430*255*290mm

 约150kg

· 设备尺寸：1200*800*1250mm（长*宽*高）

· 雾化装置尺寸：150*150*300mm（长*宽*高）

· 注射泵尺寸：265*200*150mm（长*宽*高）

·一年质保，终身维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

· 石英腔体内气压不可高于0.02MPa（相对气压）；

· 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，

   建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，

   若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和

   防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。