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双温区
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  • 1100℃大口径双温区管式炉
  • 1200℃小型双温区开启式管式炉(可选1或2英寸石英管和法兰)
  • 1200℃双温区开启式管式炉(带60,80或100mm石英管和法兰)
  • 1400℃双温区管式炉
  • 1200℃双温区三通道混气真空管式炉 (配80mm石英管和防腐真空计)
  • 1600℃双温区管式炉
  • 1200℃1英寸双温区管式炉CVD系统
  • 1700℃双温区管式炉
  • 1200℃双温区4坩埚分体式HPCVD炉(带进样系统)
  • 1200℃双坩埚移动型管式炉
  • 1100度双温区直空/气氛快速升降温RTP炉(红外灯管加热 升温速度:50度/S)
  • 1500℃双温区回转炉(配60mm氧化铝管)
  • 1200℃双温区旋转CVD炉(100mm)

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